Fabrikasi dan pencirian polihablur silikon untuk peranti semikonduktor oksida logam (MOS)
Loading...
Date
1996-01
Authors
Salleh, Saafie
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Dalam kajian ini, saput ntplS silikon telah disediakan dengan Teknik
Penyejatan Vakum yang dilengkapi dengan Senapang Elektron untuk peleburan dan
pengewapan silikon (ketulenan 99.9995%) pada suhu substrat 4000C Mikrostruktur
silikon yang termendap di atas substrat silikon yang dilapisi silikon dioksida yang
nipis adalah bergantung kepada kon.disi pemendapan terutamanya suhu substrat.
Pada suhu substrat yang cukup rendah, tidak ada sebarang struktur hablur yang
terbentuk semasa pemendapan dan saput nipis adalah amorfus silikon. Pembentukan
silikon polihablur dicapai melalui proses Penghabluran Fasa Pepejal (SPC) atau
sepuhlindap. Saput nipis silikon polihablur tersebut dianalisakan dengan Kaedah
Pembe~an Sinar-X. Penghabluran amorfus silikon iaitu pertumbuhan butiran halus
hablur silikon tersebut didapati berlaku setelah sampel disepuhlindapkan pada suhu
tinggi iaitu melebihi 8000C dengan kemunculan satah <220>, <311> dan <620>.
Perubahan fasa amorfus kepada fasa polihablur dijelaskan Jagi melalui fotograf
Mikroskop Pengimbasan Elektron (SEM). Melalui spektroskopi Sinar-X tenaga
tersebar (EDX), didapati sampel-sampel yang disediakan adalah tulen dan tidak
mengandungi bendasing. Pembentukan silikon polihablur disokong kuat oleh
kejatuhan nilai rintangan keping yang berubah daripada 150.79 X 103 ke 313.85 kO
10 setelah melalui sepuhlindap selama 8 jam pada suhu 8000C ± SoC Nilai rujukan
yang biasa digunakan adalah antara 100 ke 200 kD/O. Fasa peralihan didapati
berlaku dengan jelas dalam julat suhu sepuhlindap antara 7000C hingga 800oC.
Pengukuran kapasitans-voltan (C-V) telah menunjukkan voltan ambang peranti get
polihablur silikon (-0.82 V) adalah kurang berbanding dengan volt an allllH1ng peranti
get.. aluminium (-0.89 V)
Description
Keywords
Pembentukan silikon polihablur dicapai melalui proses , Penghabluran Fasa Pepejal (SPC) atau sepuhlindap.