Pemeriksaan Filem Sio2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyi

Simple item page
dc.contributor.authorNugroho, Cahyo Budi
dc.date.accessioned2018-05-31T01:01:57Z
dc.date.available2018-05-31T01:01:57Z
dc.date.issued2010-04
dc.description.abstractPirolisis semburan ultrabunyi (PSU) telah digunakan untuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Si. Dalam rangka pengenapan oksida di atas Si, reaktor USP telah direkabentuk dan dibina. Prapenanda yang digunakan sebagai sumber oksida ini adalah berdasarkan larutan Tetraetoksilana dan disediakan dengan kaedah sol gel. Setelah disediakan, prapenanda diatomkan untuk menjadi kabus dan disemburkan di atas permukaan Si yang panas mengunakan gas Argon. Kesan suhu substrat (60, 90, 120, 150oC), jarak muncung ke substrat (1, 1.5, 2, 3 cm), jujukan semburan (5, 4, 3, 2, 1 min sembur dengan 1 min bertangguh), dan diameter muncung (0.1, 0.3, 0.5, 0.7, 1.0 cm) terhadap sifat fizikal filem telah dikaji secara sistematik. Kumpulan fungsian kimia telah ditentukan oleh spekstrokopi Inframerah Transformasi Fourier (FTIR). Morfologi permukaan dicirikan mikroskop imbasan elektron pacaran medan. Komposisi unsur filem ditentukan oleh spektroskopi sinar-X serakan tenaga (EDX). Dengan mengubah parameter kajian, semua filem menunjukkan kumpulan ikatan Si-O, Si-Si dan hidroksil dari hasil analisis FTIR tapi ikatan karbonil tidak dijumpai. Keputusan ini disokong oleh analisis EDX, iaituhanya unsur Si dan O yang dirakam. Morfologi permukaan filem mengalami perubahan seiring dengan pengubahsuaian parameter, daripada bentuk kepingan hingga kepada filem padat. Struktur kimia daripada semua filem yang terhasil disusun oleh ikatan Si-O dan Si-OH namun ikatan karbonil tidak terkesan.en_US
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/5604
dc.publisherUniversiti Sains Malaysiaen_US
dc.subjectPirolisis semburan ultrabunyi telah digunakanen_US
dc.subjectuntuk mengenapkan filem SiO2 di atas substrat Sien_US
dc.titlePemeriksaan Filem Sio2 Yang Dienapkan Di Atas Susbtrat Si Melalui Teknik Pirolisis Semburan Ultrabunyien_US
dc.typeThesisen_US
Files
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download
Collections
Pusat Pengajian Kejuruteraan Bahan dan Sumber Mineral - Tesis